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제목 불산플루오르화수소 라인 날짜 2019.11.29 13:31
글쓴이 관리자 조회 355

불산플루오르화수소. 독성이 강한 부식성 기체로서 반도체 제조 공정 중 회로의 패턴을 형성하는 웨이퍼의 식각(etching)과 세정(cleaning)공정에 사용되는 소재다.
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