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제목 불화수소 [Hydrogen fluoride] 날짜 2019.11.29 13:27
글쓴이 관리자 조회 393

반도체 제조공정 중 에칭 공정(회로의 패턴 중 필요한 부분만 남기고 불필요한 부분은 깎아내는 공정)과 불순물 제거 과정에서 사용되는 기체이다.
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